技術(shù)編號:6154780
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明有關(guān)一種用于儲存真空計校準(zhǔn)參數(shù)及測量數(shù)據(jù)于真空計結(jié)構(gòu)上 的方法及裝置,且更特別地,有關(guān)一種用以測量環(huán)境中的氣體壓力的裝置 及方法。背景技術(shù)組合式真空計由多個真空感測器所組成,其各個真空感測器使用不同 的物理裝置以供判斷該計或連接于該計的腔內(nèi)的真空用。組合式真空計允 許使用者測量比僅具有單一感測器的真空計更寬廣范圍的壓力,因為組合 式真空計利用具有重疊的不同真空測量范圍的不同感測器類型。組合式真空計的輸出可混合于相關(guān)聯(lián)的控制電子裝置,該控制電子裝置可安...
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