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使用多波長測量三維形狀的設(shè)備和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6156235

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本發(fā)明的示例性實施例涉及一種。更具體地講,本發(fā)明的示例涉及一種。 背景技術(shù)在對測量對象的三維形狀進行測量的方法中,存在一種使用莫爾圖(Moire pattern)的投影的方法。根據(jù)使用莫爾圖的投影的方法,使用當測量對象反射圖案光時形 成的圖案圖像來獲得測量對象的三維形狀。在使用圖案圖像對測量對象的三維形狀進行測 量的方法中,存在一種相移方法(phaseshifting method)。 根據(jù)相移方法,移動參考面來獲得根據(jù)干涉信號的測量對象的多個圖案圖像,并...
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