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測(cè)試結(jié)構(gòu)及測(cè)試方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6157038

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本發(fā)明涉及集成電路測(cè)試領(lǐng)域,特別涉及。技術(shù)背景隨著集成電路技術(shù)的日益發(fā)展,其器件尺寸也日趨減小。相應(yīng)地,電路糾錯(cuò)及 缺陷檢測(cè)也變得越來(lái)越有挑戰(zhàn)性。電學(xué)測(cè)試作為一項(xiàng)重要的測(cè)試手段可以有效地探測(cè)到 集成電路設(shè)計(jì)或制造中的缺陷及不足。在電學(xué)測(cè)試中,一般都是使用探針對(duì)集成電路中的標(biāo)準(zhǔn)焊盤(pán)(standardpad)進(jìn)行 點(diǎn)針并測(cè)量來(lái)獲取電學(xué)參數(shù),通過(guò)研究電學(xué)數(shù)據(jù)來(lái)對(duì)集成電路的功能進(jìn)行測(cè)試或?qū)τ谑?效的集成電路進(jìn)行失效分析。然而,用于標(biāo)準(zhǔn)焊盤(pán)的探針的尺寸遠(yuǎn)大于集成電路...
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