技術(shù)編號(hào):6157185
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散硅壓力平膜芯體。背景技術(shù)與本申請(qǐng)最接近的是PC12型衛(wèi)生型平膜壓力傳感器,PC12座芯結(jié)構(gòu)平膜壓力傳感器是制造壓力變送器的核心部件,壓力芯片放在工件前端,充油少,溫漂好?,F(xiàn)有的PC12型衛(wèi)生型平膜壓力傳感器只能適用于中等量程(IOOKPa以上60MPa以下),用于IOOKPa以下溫漂達(dá)不到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),用于60MPa (含)以上膜片容易變形。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷提供一種擴(kuò)散硅壓力平膜芯體。本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。