技術編號：6157613
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體測試技術，特別涉及一種。背景技術常見的半導體測試儀，例如ADVANTEST T6573，如附圖說明圖1所示，包括主機(Main Frame)、測試頭(Test Head)、數(shù)字采集器(DCAP)；所述主機包括測試控制單元(Tester Controller)、供電單元(DPS)(用于為被測 芯片提供電源)、直流參數(shù)測量單元(用于被測芯片直流參數(shù)測量或提供芯片外部施加電 壓電流)；所述測試頭包括通道電子回路(Pin Electronics)、...
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