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技術(shù)編號(hào)：6161388

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一種基于MEMS敏感元件的氣體流量計(jì)量裝置及其測(cè)量放法。該裝置由流量計(jì)外殼，已經(jīng)達(dá)到預(yù)定測(cè)量精度要求的MEMS流量傳感器和MEMS校準(zhǔn)傳感器，電路系統(tǒng)，連接電路系統(tǒng)和MEMS校準(zhǔn)傳感器和MEMS流量傳感器的連接插針。在實(shí)際的測(cè)量過(guò)程中，MEMS流量傳感器的輸出特性會(huì)隨著測(cè)量條件（環(huán)境溫度、氣體壓力、分子構(gòu)成、機(jī)械振動(dòng)等）而發(fā)生變化，因此，MEMS校準(zhǔn)傳感器不斷感知當(dāng)前的測(cè)量條件，然后通過(guò)校準(zhǔn)傳感器輸出（T，P，C）對(duì)流量傳感器的模擬信號(hào)及計(jì)算模型的影響量借...
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