技術編號：6164088
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開一種，先拍攝待測物的影像，并于影像上選取至少兩個欲量測高度的像素，再以手動方式控制一手動位移器令分光干涉儀以垂直方向移動以掃描待測物，拍攝選定的各像素經(jīng)過分光干涉儀的寬頻光的干涉條紋，且等間距地記錄所選定各像素的強度值與掃描位置，并記錄于一干涉強度資料庫中，針對寬頻光的波長，同時對干涉強度資料庫中的資料進行一垂直掃描干涉分析，得到包絡波曲線的極值位置，作為待測物表面選定像素的相對高度，并通過各像素的相對高度計算即得表面階高。專利說明[0001]本...
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