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諧振型壓電驅(qū)動式地面電場傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6164449

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本發(fā)明是一種諧振型壓電驅(qū)動式地面電場傳感器,包括在壓電驅(qū)動片上設(shè)有多個孔;在每個金屬感應(yīng)電極上設(shè)有多個固接孔;在金屬固定板上對稱布設(shè)有多個連接孔;每個絕緣柱的底端固接于金屬固定板上的一個連接孔內(nèi);每個絕緣柱的上端部分別固接于每個金屬感應(yīng)電極上的一個固接孔內(nèi);每個金屬柱的下端固接于金屬固定板上的一個連接孔內(nèi);每個金屬柱的頂端固接于壓電驅(qū)動片的一個孔內(nèi);多個金屬柱位于每對絕緣柱之間;壓電驅(qū)動片位于由多個絕緣柱、金屬固定板和多個金屬感應(yīng)電極組成的空間中,且壓電驅(qū)...
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