技術(shù)編號：6167730
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有新穎結(jié)構(gòu)和垂直磁各向異性的基于鈷(Co)和鉑(Pt)的多層薄膜及其制造方法。更具體地，本發(fā)明涉及一種具有垂直磁各向異性(PMA)的基于鈷和鉑的多層薄膜及其制造方法，其包括在襯底之上交替地沉積的薄鈷層和薄鉑層，并且具有薄鈷層的厚度比薄鉑層的厚度大的反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)?；阝捄豌K的多層薄膜具有磁性薄層的厚度比非磁性薄層的厚度大的新結(jié)構(gòu)。多層薄膜可以通過根據(jù)層的厚度比控制垂直磁各向異性能量，來容易地應(yīng)用以作為磁隧道結(jié)中的自由層和固定層。此外，多層薄膜具有...
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