技術(shù)編號：6173358
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種基于CMUT的海洋生化物質(zhì)監(jiān)測傳感器及其制備與測量方法。其總體結(jié)構(gòu)由上而下為上薄板，上空腔、振動薄膜、下空腔、基座、敏感材料層、多孔下電極。所述上空腔和下空腔分別位于振動薄膜的上、下兩側(cè)，所述敏感材料層設(shè)置在所述基座下表面，所述下電極設(shè)置在所述敏感材料層的下表面，所述下電極設(shè)置有貫穿其厚度的通孔，所述振動薄膜同時作為上電極。本發(fā)明生化傳感器可避免液體環(huán)境中流體阻尼對振動薄膜品質(zhì)因子的影響，因而能實現(xiàn)高靈敏度生化物質(zhì)測量。專利說明基于CMUT的海洋生化物...
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