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基于激光合成波長干涉原理的波長測量方法及裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6174295

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本發(fā)明公開了一種基于激光合成波長干涉原理的波長測量方法及裝置。將參考激光器和待測激光器的輸出光束調(diào)制成正交線偏振光,入射到激光合成波長干涉儀,分別形成各自的干涉信號;干涉儀的第一角錐棱鏡移動時,兩路干涉信號的相位差變化2π對應(yīng)于第一角錐棱鏡移動半個由參考激光波長λR和待測激光波長λU形成的合成波長λS的位移;當λS較小時,檢測兩路干涉信號兩次同時過零點的位置,測得λS值;當λS較大時,先移動第二角錐棱鏡,然后檢測兩路干涉信號兩次同時過零點位置,再結(jié)合第二角...
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