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一種非對稱溝道量子點場效應(yīng)光子探測器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6179241

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本發(fā)明公開了一種非對稱溝道量子點場效應(yīng)光子探測器,所述光子探測器基于源漏溝道結(jié)構(gòu),且源漏溝道為非對稱結(jié)構(gòu),所述源漏溝道的導(dǎo)電率由源漏電壓進(jìn)行自調(diào)控,光探測的敏感區(qū)域位于源漏溝道的中心。所述光子探測器的外延結(jié)構(gòu)自襯底向上包括二維電子氣形成層或二維電子空穴形成層、光吸收層、量子點電荷限制層和表面蓋層,所述二維電子氣形成層包括異質(zhì)結(jié)和摻雜層。器件高靈敏度光傳感功能在于源漏之間幾十到百納米量級的導(dǎo)電通道的寬度將受到源漏電壓的自身調(diào)控,二維電子氣的臨近位置的量子點在...
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