技術編號：6184182
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開一種用于檢測環(huán)形導軌內(nèi)圓弧面的光學干涉儀，所述內(nèi)圓弧面沿環(huán)形導軌周向且位于內(nèi)側或外側，其聚光凸透鏡位于激光器和準直凸透鏡之間且聚光凸透鏡的焦點與準直凸透鏡的焦點重合；分束鏡位于聚光凸透鏡和準直凸透鏡之間，用于將來自準直凸透鏡的光線分為第一光束和第二光束；所述參考透鏡位于準直凸透鏡與分束鏡相背的一側，該參考透鏡與準直凸透鏡相對的表面為凸面，此參考透鏡與凸面相背的表面為標準球面；所述圓錐反射鏡位于待檢測所述環(huán)形導軌內(nèi)，且圓錐反射鏡的旋轉軸與環(huán)形導軌與...
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