技術編號：6184601
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種干涉物鏡驅動裝置，其包括本體，所述本體上形成有貫通的腔室，腔室的一側一體形成雙平行板四桿機構，雙平行板四桿機構由柔性鉸鏈形成；安裝架和固定架；壓電陶瓷、預緊頂絲、滾珠，壓電陶瓷、滾珠位于所述腔室中，預緊頂絲與所述本體相螺接，且與所述雙平行板四桿機構相對設置，所述滾珠與所述預緊頂絲相配合，且與壓電陶瓷相抵靠，所述壓電陶瓷與所述滾珠相對的一端與所述雙平行板四桿機構相抵靠。本發(fā)明的干涉物鏡驅動裝置采用了柔性鉸鏈形成的雙平行板四桿機構進行傳動，其結...
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