技術(shù)編號：6184918
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種在材料試樣1中產(chǎn)生光滑表面23的方法，包括通過粒子束蝕刻將第一材料量去除來產(chǎn)生基本光滑的第一表面區(qū)域21，其中，所述第一材料量由所述第一表面區(qū)域部分地限定，并且其中，射束方向15與第一表面區(qū)域21的表面法線之間的角度大于80°且小于90°；并且通過去除第二材料量II來產(chǎn)生基本光滑的第二表面區(qū)域23，其中，所述第二材料量由第一表面區(qū)域21′部分地限定且由第二表面區(qū)域23部分地限定，并且其中，所述射束方向15與第二表面區(qū)域23的表面法線之間的角度α小于60...
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