欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

多量程cmos mems電容式濕度傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6185773

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及一種多量程CMOSMEMS電容式濕度傳感器,其特征是包括多個(gè)連接在一起的傳感器單元,所述傳感器單元包括一對(duì)叉指狀的上電極和下電極,下電極穿過(guò)SiO2氧化層設(shè)置在硅基底的同一表面上,上電極位于下電極的上方,上電極的叉指與下電極的叉指在高度方向上重合,在上電極和下電極之間、上電極的叉指之間、下電極的叉指之間填充濕度敏感介質(zhì);在所述上電極的上方設(shè)置鋁條,鋁條位于上電極、下電極的叉指之間,在鋁條和上電極之間填充濕度敏感介質(zhì);在所述上電極和下電極正下方的硅...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 邢老師:1.機(jī)械設(shè)計(jì)及理論 2.生物醫(yī)學(xué)材料及器械 3.聲發(fā)射檢測(cè)技術(shù)。
  • 王老師:1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開(kāi)發(fā) 4.機(jī)械工程測(cè)試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
  • 王老師:1.機(jī)器人 2.嵌入式控制系統(tǒng)開(kāi)發(fā)
  • 張老師:1.機(jī)械設(shè)計(jì)的應(yīng)力分析、強(qiáng)度校核的計(jì)算機(jī)仿真 2.生物反應(yīng)器研制 3.生物力學(xué)
  • 趙老師:檢測(cè)與控制技術(shù)、機(jī)器人技術(shù)、機(jī)電一體化技術(shù)
  • 趙老師:1.智能控制理論及應(yīng)用 2.機(jī)器人控制技術(shù) 3.新能源控制技術(shù)與應(yīng)用
  • 張老師:激光與先進(jìn)檢測(cè)方法和智能化儀表、圖像處理與計(jì)算機(jī)視覺(jué)
陇川县| 临洮县| 江阴市| 格尔木市| 郧西县| 留坝县| 宁海县| 化隆| 鹤岗市| 吉安县| 车致| 斗六市| 清新县| 巫溪县| 云安县| 肇源县| 武定县| 阜城县| 蛟河市| 泾阳县| 滨海县| 泰顺县| 高邑县| 祁门县| 乌拉特后旗| 南靖县| 松原市| 抚顺县| 兴业县| 平原县| 通许县| 淳安县| 淮阳县| 博客| 宜阳县| 千阳县| 韩城市| 泰兴市| 泰安市| 扎鲁特旗| 资溪县|