技術(shù)編號(hào):6185773
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種多量程CMOSMEMS電容式濕度傳感器,其特征是包括多個(gè)連接在一起的傳感器單元,所述傳感器單元包括一對(duì)叉指狀的上電極和下電極,下電極穿過(guò)SiO2氧化層設(shè)置在硅基底的同一表面上,上電極位于下電極的上方,上電極的叉指與下電極的叉指在高度方向上重合,在上電極和下電極之間、上電極的叉指之間、下電極的叉指之間填充濕度敏感介質(zhì);在所述上電極的上方設(shè)置鋁條,鋁條位于上電極、下電極的叉指之間,在鋁條和上電極之間填充濕度敏感介質(zhì);在所述上電極和下電極正下方的硅...
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