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一種電驅(qū)動對稱柱塞式氣體微小流量標準裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6192125

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本實用新型公開了一種電驅(qū)動對稱柱塞式氣體微小流量標準裝置。右氣缸固定在右支架和傳動端板間,左氣缸固定在傳動支架和緩沖罐間;柱塞與左、右氣缸水平同軸安裝,右氣缸經(jīng)雙向流量指示器與左氣缸連通;傳動端板和傳動支架之間安裝有滾珠絲杠;柱塞和T型連接塊連接,T型連接塊肩臺與傳動支架兩側(cè)頂面的直線導(dǎo)軌相配;其下部與絲杠螺母固接;帶編碼器的步進電機經(jīng)減速機和膜片聯(lián)軸器與滾珠絲杠右端連接,溫度變送器安裝在緩沖罐頂側(cè),被檢流量計入口與緩沖罐連通,流量控制器安裝在被檢流量計的...
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