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一種厚度測(cè)量裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6200853

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本實(shí)用新型公布了一種厚度測(cè)量裝置,其特征在于包括一個(gè)傳感單元、一個(gè)磁體、一個(gè)連桿以及一個(gè)表面接觸單元;所述傳感單元位于磁體的正上方或其正上方的一側(cè),包括感應(yīng)部分和相應(yīng)的電路,用于測(cè)量其磁敏感方向上磁體磁場(chǎng)的分量;所述磁體的頂端中心附近的場(chǎng)強(qiáng)分布均勻且場(chǎng)強(qiáng)較?。凰鲞B桿連接磁體以及表面接觸單元;所述表面接觸單元與待測(cè)物表面相接觸,用于將待測(cè)物表面的厚度變化通過連桿轉(zhuǎn)變成磁體的位移。本實(shí)用新型通過表面接觸單元將待測(cè)物厚度變化通過連桿使磁體產(chǎn)生位移,然后傳感單元...
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