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技術(shù)編號：6207032

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本發(fā)明涉及光學(xué)元件表面及亞表面缺陷的檢測方法領(lǐng)域，具體是一種光學(xué)元件表面及亞表面缺陷檢測紅外鎖相成像方法及裝置。背景技術(shù)在高功率或者高能量的強激光系統(tǒng)及其應(yīng)用過程中，光學(xué)元件的激光破壞閾值常常是制約相關(guān)系統(tǒng)運行水平的關(guān)鍵因素。這些光學(xué)元件的激光破壞閾值常常遠(yuǎn)低于用來制作該元件的材料本征破壞閾值。以用于激光慣性約束核聚變系統(tǒng)中的大口徑熔融石英元件為例，其在355納米紫外激光波段的破壞閾值遠(yuǎn)低于用來制作該元件的純石英材料的本征閾值，是制約相關(guān)系統(tǒng)設(shè)計和研發(fā)的關(guān)...
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