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半導(dǎo)體氣體傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6209955

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本實(shí)用新型揭示了一種半導(dǎo)體氣體傳感器,包括基底,所述基底具有表面;設(shè)置在所述表面的加熱電極、以及位于所述加熱電極形成的熱場中的信號(hào)感測電極,所述加熱電極和所述信號(hào)感測電極彼此絕緣,所述加熱電極包括鄰近所述信號(hào)感測電極主加熱部以及相對遠(yuǎn)離所述信號(hào)感測電極的次加熱部;其中,所述主加熱部的電阻大于所述次加熱部的電阻。本實(shí)用新型提供的半導(dǎo)體氣體傳感器通過將加熱電極中鄰近信號(hào)感測電極的主加熱部設(shè)置為相對遠(yuǎn)離信號(hào)感測電極的次加熱部具有更大的電阻,保證了加熱電極產(chǎn)生的熱...
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