技術編號：6215362
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供，采用激光量熱技術測量深紫外光學元件的吸收損耗絕對值，采用激光誘導熒光光譜技術測量深紫外光學元件在深紫外激光照射下的熒光光譜，采用拉曼光譜技術測量深紫外光學元件材料的缺陷能級、摻雜組分及雜質的含量。通過測量深紫外光學元件在深紫外激光波長的吸收損耗特性、熒光光譜特性及拉曼光譜特性評估深紫外光學元件的綜合光學性能，通過測量深紫外光學元件在深紫外激光照射過程中吸收損耗、熒光光譜和拉曼光譜的實時變化監(jiān)測深紫外光學元件性能的穩(wěn)定性。在同一測量裝置中測量深紫...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。