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一種快速測(cè)量多晶硅中微量硼雜質(zhì)的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6215895

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本發(fā)明涉及。包括稱取多晶硅樣品試樣;向試樣中加入甘露醇溶液;再向試樣中加入碳酸鉀溶液;然后加入氫氟酸,再緩慢滴入硝酸進(jìn)行酸化溶解;待試樣溶解后,加熱至白煙冒盡,停止加熱;向試樣中加入鹽酸浸泡,再用少量的純水稀釋,冷卻;待冷卻后,向溶液中加入甲醇,搖勻,定容;定容后,用氨水和純水分別沖洗ICP-MS;待ICP-MS沖洗完成,將定容后的溶液試樣采用ICP-MS檢測(cè),即可精確測(cè)量出樣品的硼含量。本方法工藝簡(jiǎn)單,成本低,測(cè)量精確、能快速測(cè)量多晶硅中硼的含量。專利說(shuō)...
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