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電路圖案檢查裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6216869

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電路圖案檢查裝置將多個(gè)單一畫(huà)面大小、或混雜多個(gè)畫(huà)面大小的電路板作為檢查對(duì)象,對(duì)于基板上的各畫(huà)面大小的圖案群的各導(dǎo)體圖案,通過(guò)交錯(cuò)配置的檢查電極,根據(jù)導(dǎo)體圖案來(lái)選擇,通過(guò)電容耦合來(lái)施加及檢測(cè)由交流信號(hào)構(gòu)成的檢查信號(hào),從而通過(guò)非接觸方式實(shí)施合格與否判定。專利說(shuō)明電路圖案檢查裝置 [0001]本發(fā)明涉及對(duì)基板上形成的導(dǎo)體圖案群的各導(dǎo)體圖案的缺陷以非接觸方式進(jìn)行檢查的電路圖案檢查裝置。 背景技術(shù) [0002]近年來(lái),顯示裝置中,在玻璃基板上使用了液晶的液...
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