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電子級(jí)氫氟酸取樣室的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6219741

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本發(fā)明公開(kāi)了一種電子級(jí)氫氟酸取樣室,包括盒室,盒室內(nèi)設(shè)置取樣間,取樣間的敞口處設(shè)置有遮擋外部空氣進(jìn)入取樣間的軟擋風(fēng)簾,取樣間上設(shè)置有進(jìn)氣管口,進(jìn)氣管口通過(guò)氣管與潔凈氣源相連接,盒室內(nèi)設(shè)置有取樣輸送管以及取樣輸送管上設(shè)置的放樣閥,取樣輸送管的出口端設(shè)置在取樣間內(nèi)部,取樣輸送管的入口端與電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)系統(tǒng)中的氫氟酸輸送管道相連通連接。上述方案中,取樣時(shí),通過(guò)氣管向小取樣間內(nèi)通入潔凈氣體,將取樣間內(nèi)的空氣通過(guò)擋風(fēng)簾與取樣間側(cè)壁間的縫隙排凈,然后打開(kāi)放樣閥進(jìn)行取...
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