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一種超聲顯微鏡分辨力測試及校準方法技術資料下載

技術編號:6219761

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本發(fā)明涉及,適用于超聲無損檢測領域,可用于驗證超聲檢測系統(tǒng)的橫向和縱向缺陷檢測能力,通過對超聲顯微鏡檢測結果進行校準使檢測更為準確。本方法通過激光微納技術在光學玻璃片上表面刻蝕了一系列微米級小孔,超聲顯微成像所能辨別的最少微孔尺寸即為橫向檢測分辨力,通過對標準量塊縱截面進行超聲顯微測量計算像素補償值實現(xiàn)橫向校準。設計玻璃楔塊試樣,利用聲時法進行厚度測量,所能測量的最薄水層厚度值即為縱向檢測分辨力,將測量值與理論計算值進行分析求得線性擬合方程實現(xiàn)縱向校準。該...
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