技術(shù)編號：6219921
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種，通過在傳感器基底上依次鍍覆叉指電極、沉積金屬鎢薄膜層，進而在管式真空爐再結(jié)晶輔以后退火處理得到了具有良好形貌的準定向氧化鎢納米線。納米線從電極表面的金屬鎢薄膜層向上再結(jié)晶生長，自組裝形成了彼此交叉的準定向氧化鎢納米線敏感膜層?；诒景l(fā)明方法的準定向氧化鎢納米線傳感器元件對NO2具有高的靈敏度、好的選擇性和穩(wěn)定性。良好的氣敏性能歸因于準定向納米線氣敏元件的敏感膜層的特殊結(jié)構(gòu)特性，同時顯示了其在監(jiān)測毒性NO2領(lǐng)域的巨大應(yīng)用潛力。專利說明[00...
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