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一種基于結(jié)構(gòu)光的ic引腳共面度測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6224947

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本發(fā)明公開(kāi)了一種基于結(jié)構(gòu)光的IC引腳共面度測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法,包括圖形投影儀,測(cè)角儀、漫射陶瓷標(biāo)定板、A遠(yuǎn)心鏡頭、B遠(yuǎn)心鏡頭、CCD相機(jī)和計(jì)算機(jī);圖形投影儀連接A遠(yuǎn)心鏡頭,通過(guò)夾持裝置固定在隔振試驗(yàn)臺(tái)上,圖形投影儀的光線垂直于隔振試驗(yàn)臺(tái)的平面,待測(cè)IC芯片放置于圖形投影儀正下方的水平面上;B遠(yuǎn)心鏡頭連接到CCD相機(jī),通過(guò)夾持裝置固定在隔振試驗(yàn)臺(tái)上,CCD相機(jī)的光線與隔振試驗(yàn)臺(tái)的平面呈一定夾角。本裝置能夠?qū)C引腳共面度的測(cè)量轉(zhuǎn)化為基于機(jī)器視覺(jué)的智能化測(cè)量...
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