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基于限壓-分流法的大氣環(huán)境下的質(zhì)譜單點檢漏系統(tǒng)及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6230015

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本發(fā)明公開了一種基于限壓—分流法的大氣環(huán)境下的質(zhì)譜單點檢漏系統(tǒng),包括質(zhì)譜室、分流腔、長距離吸槍線、分流泵、真空系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理顯示單元,質(zhì)譜室設(shè)置有四極質(zhì)譜計,并通過真空系統(tǒng)對質(zhì)譜室抽真空,四極質(zhì)譜計電連接有數(shù)據(jù)處理顯示單元,質(zhì)譜室通過微調(diào)閥一連通有分流腔,分流腔連接有分流泵,分流腔還連通有長距離吸槍線,長距離吸槍線前方還設(shè)置有微調(diào)閥二。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的檢漏系統(tǒng)提高了檢漏靈敏度,滿足實際測試需求并延長系統(tǒng)使用壽命;測試距離不小于10m,滿足了航天器現(xiàn)...
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