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穩(wěn)健操作通過(guò)嚴(yán)重沖擊和加速的mems裝置機(jī)構(gòu)增強(qiáng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6235826

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本發(fā)明涉及穩(wěn)健操作通過(guò)嚴(yán)重沖擊和加速的MEMS裝置機(jī)構(gòu)增強(qiáng)。一種微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)裝置包括至少一個(gè)檢測(cè)質(zhì)量,其被構(gòu)造成具有第一電壓和沿第一水平方向的電動(dòng)機(jī)運(yùn)動(dòng)。至少一個(gè)傳感板與檢測(cè)質(zhì)量分開(kāi)達(dá)一定傳感間隙,且所述傳感板具有面向檢測(cè)質(zhì)量的內(nèi)表面和不同于第一電壓的第二電壓。一組止擋結(jié)構(gòu)位于傳感板的內(nèi)表面上,并且電隔離于傳感板。所述止擋結(jié)構(gòu)被構(gòu)造成防止傳感板的內(nèi)表面與檢測(cè)質(zhì)量沿豎直方向接觸。所述止擋結(jié)構(gòu)具有與檢測(cè)質(zhì)量的電壓基本上相同的電壓,并且定尺寸為在沖...
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