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一種在線檢測材料微納結(jié)構(gòu)演化的sr-ct微力加載裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6248058

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本發(fā)明公開了一種在線檢測材料微納結(jié)構(gòu)演化的SR-CT微力加載裝置,包括X光源及光路、圖像采集及重建系統(tǒng),X光源的光路上設(shè)有位移驅(qū)動系統(tǒng);位移驅(qū)動系統(tǒng)包括設(shè)于最上部的微米位移平臺,微米位移平臺的下部設(shè)有導(dǎo)軌,導(dǎo)軌通過支撐桿支撐在底座上,底座固定在位移及旋轉(zhuǎn)平臺上;導(dǎo)軌上在所述微米位移平臺的下部設(shè)有壓電陶瓷驅(qū)動器,壓電陶瓷驅(qū)動器的下部設(shè)有上載物臺,底座上設(shè)有微力傳感器,微力傳感器上設(shè)有下載物臺,上載物臺和下載物臺上分別裝有上載物片和下載物片,上載物片和下載物片...
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