技術(shù)編號：6248344
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種高溫聲表面波溫度傳感器，該高溫聲表面波溫度傳感器包括襯底；在襯底之上形成的壓電薄膜；在該壓電薄膜的部分之上形成的金屬電極；以及覆蓋于未形成金屬電極的壓電薄膜之上及該金屬電極之上的保護層。本發(fā)明通過在壓電薄膜和金屬電極表面沉積覆蓋一層保護層，解決了高溫環(huán)境中壓電薄膜和金屬電極的退化問題，增強了器件對高溫的耐受能力，同時隔絕了外界環(huán)境對器件表面的腐蝕，延長了傳感器在高溫環(huán)境中的工作時間。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、易于制作并對高溫較強的耐受性，因此適用于石...
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