技術(shù)編號：6270244
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于制程控制，特別是有關(guān)于用以在制造環(huán)境中收集數(shù)據(jù)及進(jìn)行統(tǒng)計制程分析的系統(tǒng)與方法。背景技術(shù) 隨著半導(dǎo)體制造相關(guān)技術(shù)的成長，半導(dǎo)體產(chǎn)品制造的復(fù)雜度與日俱增。目前半導(dǎo)體產(chǎn)品制造，由于大小或排列等因素，對于錯誤的容許度非常小。然而，于復(fù)雜的制程中，常會因為不良的制程參數(shù)而導(dǎo)致錯誤發(fā)生。由于半導(dǎo)體產(chǎn)品于剛開始生產(chǎn)時，并沒有先前制程數(shù)據(jù)可供參考，因此無法適切地設(shè)定制程或工具相關(guān)制程參數(shù)，因此半導(dǎo)體產(chǎn)品剛開始進(jìn)行生產(chǎn)時，特別容易發(fā)生前述的錯誤。于一個半導(dǎo)體制...
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