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一種硅片刻蝕工藝處方的控制方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6270933

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工工藝,特別涉及硅片刻蝕工藝處方的控制方法。背景技術(shù) 硅片刻蝕結(jié)果與反應(yīng)腔室中的各種刻蝕條件密切相關(guān),通過(guò)改變反應(yīng)腔室中的各種氣體流量、溫度、壓力、反應(yīng)時(shí)間等條件,就可以改變硅片的刻蝕結(jié)果(如刻蝕均勻性,顆粒度,垂直度等)。因?yàn)榭涛g設(shè)備的反應(yīng)參數(shù)非常多,各種反應(yīng)氣體非常多(多達(dá)十幾種),而且在刻蝕過(guò)程中需要經(jīng)常改變反應(yīng)的條件,所以刻蝕設(shè)備的工藝參數(shù)控制就是一個(gè)非常復(fù)雜工作。以前采取的工藝參數(shù)控制方式,各個(gè)參數(shù)是串行讀入的,并且判斷各個(gè)參數(shù)...
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