技術(shù)編號(hào):6279095
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明系大致有關(guān)半導(dǎo)體制造,尤系有關(guān)一種用來(lái)執(zhí)行透過(guò)回授而改善錯(cuò)誤偵測(cè)可靠性的程序之方法、系統(tǒng)、以及裝置。背景技術(shù) 制造業(yè)中技術(shù)的急速發(fā)展已導(dǎo)致了許多新穎且原創(chuàng)的制造。現(xiàn)今的制造,尤其是半導(dǎo)體制造需要許多的重要步驟。這些制造步驟通常是極其重要的,因而通常需要精細(xì)調(diào)整一些輸入,以便保持適當(dāng)?shù)闹圃炜刂?。半?dǎo)體裝置的制造需要若干獨(dú)立的制造步驟,以便從半導(dǎo)體原料作出封裝的半導(dǎo)體裝置。自半導(dǎo)體材料的起始生長(zhǎng)、將半導(dǎo)體晶體切割成個(gè)別的晶圓、制造階段(蝕刻、摻雜、或離子...
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