技術(shù)編號：6288144
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理系統(tǒng)，尤其涉及能管理數(shù)據(jù)的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。背景技術(shù) 計(jì)算機(jī)通常用于控制，監(jiān)控，和初始化生產(chǎn)過程。對于半導(dǎo)體制造廠中的給定復(fù)雜度，計(jì)算機(jī)非常適于以下操作重入晶片流(reentrant wafer flows)，關(guān)鍵處理步驟，和處理的可維護(hù)性。將各種輸入/輸出(I/O)設(shè)備用于控制和監(jiān)控過程流，晶片狀態(tài)，和維護(hù)進(jìn)度表。半導(dǎo)體制造廠存在多種工具，用于完成從諸如蝕刻的關(guān)鍵操作到批量處理和檢查的復(fù)雜步驟。多數(shù)工具的安裝是使用顯示屏完成，顯示屏是包...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。