技術(shù)編號(hào)：6290365
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及以設(shè)定壓力調(diào)節(jié)流體的調(diào)節(jié)器。背景技術(shù)以往，半導(dǎo)體制造裝置制造的半導(dǎo)體中，供給至晶片的作用氣體 的流量或壓力會(huì)使產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生偏差。因此，為了以設(shè)定壓力控制供 給至晶片的作用氣體的壓力，半導(dǎo)體制造裝置裝載有調(diào)節(jié)器。調(diào)節(jié)器在PCTFE制闊座中可以接觸或分離地設(shè)有提升閥體，根據(jù) 提升閥體與閥座之間的閥開度控制流入壓力室內(nèi)的流體。調(diào)節(jié)閥通過 調(diào)整閥開度以使壓力室的內(nèi)部壓力與設(shè)定壓力一致，從而能夠以設(shè)定 壓力調(diào)節(jié)作用氣體的壓力。提升閥體沒有設(shè)置滑動(dòng)部，以便能...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。