技術編號：6293340
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種半導體裝置及其溫度控制方法以及測試系統(tǒng)。半導體裝置包括至少一溫度控制單元以及至少一加熱單元。溫度控制單元用以反應于外部控制信號而運作。溫度控制單元反應于外部控制信號的第一致能信號而控制加熱單元的溫度，據(jù)以從第一工作溫度升溫至第二工作溫度。本發(fā)明減少了測試站的數(shù)量與所需的測試空間。專利說明半導體裝置及其溫度控制方法以及測試系統(tǒng)[0001]本發(fā)明涉及一種半導體裝置及其溫度控制方法以及測試系統(tǒng)。背景技術[0002]在生產(chǎn)半導體裝置的產(chǎn)品的過程中，...
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