技術(shù)編號(hào):6295983
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及主要在藥品、原子能燃料、化工產(chǎn)品、半導(dǎo)體等制造領(lǐng)域中所使用的、能夠用流量控制裝置以高精度且穩(wěn)定地對(duì)氟化氫氣體(以下稱作HF氣體)、臭氧、水等流體(以下稱作簇化流體)的供給流量進(jìn)行控制的簇化流體的流量控制方法,以及該方法中所使用的簇化流體用的流量控制裝置。背景技術(shù) 迄今為止,HF氣體等簇化流體在化工產(chǎn)品和半導(dǎo)體等制造領(lǐng)域中被廣泛使用。因此,在HF氣體等簇化流體的供給設(shè)備中使用著各種型式的流量控制裝置,其中,質(zhì)量流量控制器和差壓式流量控制裝置等使用得...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。