技術(shù)編號：6297123
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微電子加工流水線冷卻水的節(jié)能型溫度調(diào)功系統(tǒng)[0001]本實用新型涉及一種適用于微電子加工流水線水冷卻輔助裝備，尤其是一種具有溫度調(diào)功的水冷卻輔助裝備。背景技術(shù)[0002]冷卻水系統(tǒng)的高效溫度調(diào)功安全方法中，采用串級控制方式和PID控制方法進(jìn)行水溫調(diào)功，以達(dá)到改善控制并節(jié)約能源的目的，以Smith補(bǔ)償來緩解溫度延時和回差，以分段函數(shù)或算法來控制制冷機(jī)的啟閉，從而達(dá)到無級控制和良好的控制精度以及節(jié)約電能的目的，然而，中國《制冷與空調(diào)》2002-2-28，《中國...
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