技術(shù)編號：6308499
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。。獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上加工設(shè)備緩沖區(qū)待加工Lot的特征屬性；通過采集到的工件特征屬性，利用半導(dǎo)體加工工件排序復(fù)合規(guī)則，對待加工工件進(jìn)行排序，形成待合并工件族；再次，利用ES\RW2和MDBH相融合的調(diào)度算法對待合并工件族進(jìn)行排序，確定以拖期最小為優(yōu)化目標(biāo)的工件加工順序；最后，將待合并工件族按照排序的結(jié)果，送入加工設(shè)備進(jìn)行加工，計(jì)算當(dāng)前一輪不同訂單各Lot加權(quán)因子，為下一輪合并決策提供技術(shù)支撐作用。本發(fā)明通過優(yōu)化半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中不同訂單相同工藝Lot加工流...
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