技術(shù)編號：6321737
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路設(shè)備真空獲得領(lǐng)域，具體地說是一種集成電路用真空機(jī)組控制裝置。背景技術(shù)在集成電路(IC)設(shè)備真空獲得領(lǐng)域，真空機(jī)組的控制系統(tǒng)必不可少。傳統(tǒng)的真空機(jī)組缺乏必要的控制功能，如自身保護(hù)功能、通訊及遠(yuǎn)程遙控接口等。在IC生產(chǎn)線上，主控系統(tǒng)需要依據(jù)真空機(jī)組的抽速、真空度及機(jī)組溫度、壓力等各種參數(shù)設(shè)定、調(diào)整工藝流程， 而現(xiàn)有技術(shù)中，上述參數(shù)無法獲取，沒有對真空機(jī)組在運(yùn)行過程中的安全監(jiān)控措施。發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的參數(shù)無法獲取，沒有對真空機(jī)組在運(yùn)行...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。