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改進的控制系統(tǒng)仿真器及簡化的互連控制系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6360526

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本發(fā)明涉及用于物理過程的計算機仿真器(“過程仿真器”或“仿真器”),更具體地,特別涉及以下改進簡化仿真器的布線,減少實施仿真器所需的組件的數(shù)量,以及縮短實施所需的時間長度。本發(fā)明可廣泛地應(yīng)用于各種類型的過程,包括但不限于化學(xué)過程、熱過程和機械過程。背景技術(shù)物理過程的計算機仿真廣泛用于工程系統(tǒng),以開發(fā)新的過程或測試,并優(yōu)化基于 計算機的控制系統(tǒng)的運作。因此,制造用于加工硅晶片的工具的制造商可采用仿真器來運行工具控制系統(tǒng),從而避免需要使用真實的產(chǎn)品來運行該工具...
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