技術(shù)編號：63866
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及原子力顯微鏡，特別是一種模塊化原子力顯微鏡。 背景技術(shù)原子力顯微鏡是具有極高分辨率的表面測量儀器，是納米技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)。它不但能像掃描隧道顯微鏡那樣從原子尺度觀察導(dǎo)體和半導(dǎo)體表面的原子形貌，還能獲得諸如玻璃、陶瓷、生物樣品等非導(dǎo)體表面的微觀結(jié)構(gòu)；并可以在大氣、水或是油中無損傷的直接觀察樣品。因此原子力顯微鏡具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。大多數(shù)現(xiàn)有原子力顯微鏡都采用壓電陶瓷管做掃描器，有固定的結(jié)構(gòu)，因而只適用于某些特定的應(yīng)用。例如有的只適用于小樣品檢測，有的卻只適用于大型大面積樣品檢測。 在先技術(shù)臥式...
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