技術(shù)編號(hào):64026
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及原子力顯微鏡,特別是一種模塊化原子力顯微鏡。 背景技術(shù)原子力顯微鏡是具有極高分辨率的表面測(cè)量?jī)x器,是納米技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)。它不但能像掃描隧道顯微鏡那樣從原子尺度觀察導(dǎo)體和半導(dǎo)體表面的原子形貌,還能獲得諸如玻璃、陶瓷、生物樣品等非導(dǎo)體表面的微觀結(jié)構(gòu);并可以在大氣、水或是油中無(wú)損傷的直接觀察樣品。因此原子力顯微鏡具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。大多數(shù)現(xiàn)有原子力顯微鏡都采用壓電陶瓷管做掃描器,有固定的結(jié)構(gòu),因而只適用于某些特定的應(yīng)用。例如有的只適用于小樣品檢測(cè),有的卻只適用于大型大面積樣品檢測(cè)。 在先技術(shù)...
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