技術(shù)編號：64230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及SPM(掃描探針顯微鏡)的控制系統(tǒng)，特別涉及利用數(shù)字閉環(huán)技術(shù)實現(xiàn)掃描的掃描探針顯微鏡控制系統(tǒng)。 背景技術(shù)SPM(Scanning Probe Microscope)即掃描探針顯微鏡，是一種集多種現(xiàn)代技術(shù)于一身的新型表面分析儀器，它是世界上分辨率最高的顯微鏡，也是研究納米技術(shù)的最有力的工具。 SPM在其掃描過程中，探針，光路，壓電陶瓷掃描管以及相應(yīng)控制電路組成了一個閉環(huán)反饋系統(tǒng)。如圖1所示，針尖趨近樣品表面并與表面輕輕接觸，由于針尖尖端原子與樣品表面原子之間存在著相互作用力(主要是原子間的排斥力...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。