技術(shù)編號：6444744
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路版圖繪制領(lǐng)域，尤其涉及一種。背景技術(shù)電感在各種電子電路中的使用相當普遍，一直以來都以分立式結(jié)構(gòu)存在，這種分立電感一般都以螺線管的結(jié)構(gòu)制作，擁有較大的封裝體積和占據(jù)著電路板上較大的面積。 而隨著集成電路技術(shù)和通信技術(shù)的發(fā)展，占據(jù)更小面積的集成平面螺旋電感器件迅速的在有著低功耗低成本輕薄便攜訴求的消費類電子產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用。目前主流的集成電感通常使用后道金屬層互連工藝與集成電路一起制作在硅 (Si)襯底或者砷化鎵(GaAs)等襯底上，形成芯...
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