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對(duì)半導(dǎo)體物理版圖進(jìn)行填充的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6561280

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體物理版圖的設(shè)計(jì)方法,特別涉及一種對(duì)半導(dǎo)體 物理版圖進(jìn)行填充的方法。背景技術(shù)目前在深亞微米大規(guī)模集成電路的制造過(guò)程中,CMP (化學(xué)機(jī)械拋光) 等過(guò)程會(huì)因?yàn)榘雽?dǎo)體物理版圖的密度不均而對(duì)電路器件的特性產(chǎn)生影響, 因此現(xiàn)有做法主要是利用版圖編輯工具對(duì)金屬等工藝步驟在相應(yīng)的版圖 空白區(qū)域進(jìn)行手動(dòng)填充。然而,這樣的做法非常耗時(shí),并且有可能會(huì)導(dǎo)致 GDSII (Gerber Data Stream II)數(shù)據(jù)量的大幅增加。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)...
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