技術(shù)編號：6566722
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明用于群集工具的安全通用配置軟件 背景技術(shù) 等離子體處理工具長期被用于處理晶片和其他小型器件(如平板、納米機(jī)器等)。群集工具(cluster tool)，代表等離子體處理工具的變體，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用。在一個群集工具中，多個處理室被聚集在一個或者多個傳遞模塊的周圍。對于一個或多個特定過程，每個處理室是可以配置的。通過將半導(dǎo)體襯底從處理室移動到群集工具的處理室，制造者可以在相當(dāng)短時間內(nèi)使襯底經(jīng)受多個過程以及多個處理配方。在制造環(huán)境中采用群集工具的好處...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
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