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技術(shù)編號：6571495

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本發(fā)明涉及一種微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的模型建立方法，屬于微機電系統(tǒng)的計算機輔助設(shè)計(MEMS CAD)領(lǐng)域。背景技術(shù) 隨著集成度的提高，MEMS系統(tǒng)級設(shè)計的需求會越來越迫切。系統(tǒng)級設(shè)計關(guān)注對整個微系統(tǒng)(包含機械結(jié)構(gòu)、電路以及多域耦合部件等)從整體上進行建模與性能仿真。由于相關(guān)工作存在一定難度和復(fù)雜程度，因此如何建立既能夠較準確表達器件行為又可以實現(xiàn)可重用參數(shù)化組件模型成為關(guān)鍵問題，對于發(fā)展MEMS CAD技術(shù)、提高MEMS設(shè)計效率和研發(fā)水平至關(guān)重要。現(xiàn)...
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