技術(shù)編號(hào):6582884
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例主要地涉及用于設(shè)計(jì)和制造集成電路(IC)的技術(shù)。具體而言,本發(fā)明的實(shí)施例涉及一種用于在掩模數(shù)據(jù)預(yù)備期間對(duì)掩模布局中的多邊形正確地設(shè)定尺寸 的技術(shù)。背景技術(shù)近年來(lái),由于半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和制造技術(shù)的相應(yīng)改進(jìn),集成電路(IC)集成密度的巨大 改進(jìn)已經(jīng)很大程度上變?yōu)榭赡堋?—種這樣的設(shè)計(jì)和制造技術(shù)涉及到在掩模數(shù)據(jù)預(yù)備期間對(duì)IC掩模布局(下文稱 為"布局")中的多邊形設(shè)定尺寸(即收縮/減小尺寸或者增長(zhǎng)/增大尺寸)。為了改變多 邊形的尺寸,初始幾何形狀中的各邊...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
請(qǐng)注意,此類技術(shù)沒(méi)有源代碼,用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。